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產(chǎn)品簡介
產(chǎn)品分類
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2025-04-242025-04-212025-01-172025-04-30| 品牌 | ACCRETECH/東京精密 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 儀器種類 | 精密切割機 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
| 應用領域 | 化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合 |
全自動ACCRETECH東京精密紫外激光切割機
全自動ACCRETECH東京精密紫外激光切割機
新型的激光引擎機構，兼顧高質(zhì)量加工和高生產(chǎn)效率。
傳統(tǒng)的激光開槽工藝難以兼顧高質(zhì)量加工和高生產(chǎn)效率，兩者之間存在著一種“權衡"關系。
通過新型的激光引擎機構+高剛性平臺的組合，我們提供了一種高質(zhì)量、高生產(chǎn)效率的激光開槽工藝，解決了兩者之間的“權衡"問題。
φ300mm晶圓對應全自動激光開槽機
自動支持從水溶性保護膜分配到激光切割、清洗的一系列工序。
支持激光開槽工藝。
光學設計非常適合低k分組和從街道上方去除TEG。
加工變形和熱損傷被控制在較低限度，并形成穩(wěn)定的加工槽。
操作性：
采用17英寸觸摸屏+GUI（圖形用戶界面）。
只需輕觸圖標化的按鈕，即可輕松便捷地進行操作。
搭載與AD/SS系列通用的操作系統(tǒng)，操作簡便。
| 型號名稱 | AL3000 | |
| 處理方法 | 消融 | |
| 激光振蕩器 | 半導體激光器激發(fā)Q開關固體激光器 | |
| 波長 | 355納米 | |
| 最大工件尺寸 | φ305毫米 | |
| 切割行程 | 310毫米 x 310毫米 | |
| X軸 | 最大移動速度 | 1,000 毫米/秒 |
| Y軸 | 最大移動速度 | 300毫米/秒 |
| 定位精度 | 0.078 微米 | |
| Z軸 | 最大移動速度 | 10毫米/秒 |
| 重復精度 | 1.0 微米 | |
| θ軸 | 最大旋轉(zhuǎn)角度 | 380.0 度 |
| 電源 | 三相200～220VAC±10% |
| 功耗 | 2.0 kVA（參考值） |
| 供氣壓力 | 0.5～0.7MPa |
| 平均空氣消耗量 | 400升/分鐘 |
| N2供給壓力 | 0.3～0.5MPa |
| N2平均消耗量 | 30升/分鐘 |
| DI水供水壓力 | 0.3～0.5MPa |
| 最大去離子水消耗流量 | 6.0升/分鐘 |
| 排氣 | 4.0立方米/分鐘以上 |
| 尺寸（寬 x 深 x 高） | 1,645 毫米 x 1,680 毫米 x 1,800 毫米 |
| 機器重量 | 2,500公斤 |
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